2020年4月7日下午14点,由山东大学研究生院、党委研究生工作部主办,机械工程学院承办的第2期(总第694期)“海右”博士生学术论坛通过线上形式举行。王沛志博士做了题为“单晶碳化硅的金刚石线锯切片技术研究及海外联合培养经历分享”的学术讲座。机械工程学院葛培琪教授主持讲座,并作为点评嘉宾对讲座内容进行了点评。部分硕博研究生聆听了此次讲座。
首先,王沛志博士讲解了单晶碳化硅的金刚石线锯切片技术的研究背景。随着科技的发展,以单晶碳化硅为代表的新一代半导体材料正受到越来越广泛的关注和应用。目前单晶碳化硅关键技术主要被海外公司垄断,美国CREE公司占据单晶碳化硅晶圆制造市场份额达到60%以上。接着,王沛志博士从三个方面介绍了他所做的研究工作,分别为单晶碳化硅单磨粒刻划研究、单晶碳化硅多磨粒刻划中位裂纹间的耦合作用、单晶碳化硅晶片表层裂纹损伤深度的研究。其中,他主要讲解了单晶碳化硅单磨粒刻划研究,包括刻划力与刻划压入深度关系模型、刻划应力场及裂纹扩展驱动应力和单磨粒刻划实验三个部分。随后,王沛志博士介绍了他的海外联培研究内容,包括单晶硅高速刻划材料本构模型和高速刻划实验及仿真等。最后,他与同学们分享了自己海外联培的感悟以及海外生活学习的一些经验。
讲座完成后,王沛志博士对同学们提出的“锯丝上的磨粒是怎么添加的”以及“锯丝上的磨粒分布是否可控”等问题进行了详细解答。
王沛志,山东大学机械工程学院2016级博士研究生,师从葛培琪教授,主要从事单晶碳化硅的金刚石线锯切片技术研究,2018年10月至2019年10月期间于美国佐治亚理工学院进行联合培养学习。研究生期间以第一作者身份发表SCI学术论文7篇,2019年获山东大学研究生优秀科研成果奖,2017年和2018年分别入选山东大学机械工程学院优秀博士论文选育计划和培育计划。
葛培琪,工学博士,山东大学二级教授,博士研究生导师。中国机械工程学会机械设计分会委员、中国机械工程学会生产工程分会光整加工专业委员会委员、《山东大学学报(工学版)》编委会委员、《金刚石与磨料磨具工程》编委会委员。主要从事晶体材料金刚石线锯高效精密切片加工技术、控性磨削加工技术、流体诱导振动理论与应用、摩擦学及机械动密封技术研究。主持完成国家自然科学基金面上项目5项,主持完成973计划课题1项,总装预研项目2项,山东省重点研发计划和企业委托项目多项。研究成果获山东省科技进步二等奖1项,获授权发明专利12项。2014年以来发表SCI收录论文40余篇。